Чийглэг нь цэвэр өрөөнүүдийн үйл ажиллагаанд байгаль орчны хяналтын нийтлэг нөхцөл юм. Хагас дамжуулагчтай цэвэр өрөөний харьцангуй чийгшлийн зорилтот утгыг 30-50%-ийн хооронд байхаар хянадаг бөгөөд алдаа нь фотолитографийн талбай гэх мэт ±1%-ийн нарийхан хүрээнд, эсвэл хэт ягаан туяаны боловсруулалтын (DUV) хэсэгт бүр бага байх боломжийг олгодог. – Бусад газарт та ±5%-ийн дотор амрах боломжтой.
Учир нь харьцангуй чийгшил нь цэвэр өрөөний ерөнхий гүйцэтгэлд нөлөөлж болох хэд хэдэн хүчин зүйлтэй байдаг бөгөөд үүнд:
● бактерийн өсөлт;
● Өрөөний температурт ажилтнуудын мэдэрдэг тав тухтай байдлын хүрээ;
● Статик цэнэг гарч ирэх;
● металлын зэврэлт;
● Усны уурын конденсац;
● литографийн доройтол;
● Ус шингээх чадвар.
Бактери болон бусад биологийн бохирдуулагчид (хөгц, вирус, мөөгөнцөр, хачиг) харьцангуй чийгшил 60% -иас дээш орчинд идэвхтэй үрждэг. Харьцангуй чийгшил 30% -иас хэтрэх үед зарим ургамал ургаж болно. Харьцангуй чийгшил 40% -аас 60% хооронд байвал бактери, амьсгалын замын халдварын нөлөөг багасгах боломжтой.
Харьцангуй чийгшил нь 40% -аас 60% хүртэл байх нь хүмүүсийн тав тухтай байдлыг мэдэрдэг бага зэрэг юм. Хэт их чийгшил нь хүнийг сэтгэлийн хямралд оруулдаг бол 30% -иас доош чийгшил нь хуурайших, хагарах, амьсгалах, сэтгэл санааны таагүй мэдрэмжийг төрүүлдэг.
Өндөр чийгшил нь цэвэр өрөөний гадаргуу дээрх статик цэнэгийн хуримтлалыг бууруулдаг - энэ бол хүссэн үр дүн юм. Бага чийгшил нь цэнэг хуримтлуулахад илүү тохиромжтой бөгөөд цахилгаан гүйдэл үүсгэдэг. Харьцангуй чийгшил 50% -иас хэтрэх үед статик цэнэг хурдан сарниж эхэлдэг боловч харьцангуй чийгшил 30% -иас бага бол тусгаарлагч эсвэл газардуулгагүй гадаргуу дээр удаан хугацаагаар байж болно.
Харьцангуй чийгшил нь 35% -аас 40% -ийн хооронд байх нь сэтгэл ханамжтай буулт байж болох бөгөөд хагас дамжуулагч цэвэрлэх өрөө нь статик цэнэгийн хуримтлалыг хязгаарлахын тулд нэмэлт хяналтыг ихэвчлэн ашигладаг.
Харьцангуй чийгшил ихсэх тусам зэврэлтийн процесс зэрэг олон химийн урвалын хурд нэмэгдэнэ. Цэвэр өрөөний эргэн тойрон дахь агаарт ил гарсан бүх гадаргуу нь дор хаяж нэг давхар усаар бүрхэгдсэн байдаг. Эдгээр гадаргуу нь устай урвалд орох чадвартай нимгэн металл бүрхүүлээс бүрдэх үед өндөр чийгшил нь урвалыг хурдасгадаг. Аз болоход, хөнгөн цагаан зэрэг зарим металлууд нь усаар хамгаалалтын исэл үүсгэж, цаашдын исэлдэлтийн урвалаас сэргийлж чаддаг; гэхдээ зэсийн исэл гэх мэт өөр нэг тохиолдол нь хамгаалалтгүй тул өндөр чийгшилтэй орчинд зэсийн гадаргуу нь зэврэлтэнд илүү өртөмтгий байдаг.
Үүнээс гадна харьцангуй чийгшил өндөртэй орчинд чийг шингээснээс болж жигнэмэгийн мөчлөгийн дараа фоторезист нь өргөжиж, улам хүндэрдэг. Фоторезист наалдац нь өндөр харьцангуй чийгшилд сөргөөр нөлөөлдөг; харьцангуй чийгшил бага (ойролцоогоор 30%) нь фоторезистийн наалдацыг полимер хувиргагчгүйгээр ч хялбар болгодог.
Хагас дамжуулагчтай цэвэр өрөөнд харьцангуй чийгшлийг хянах нь дур зоргоороо биш юм. Гэсэн хэдий ч цаг хугацаа өөрчлөгдөхийн хэрээр нийтлэг, нийтээр хүлээн зөвшөөрөгдсөн дадал зуршлын шалтгаан, үндэслэлийг эргэн харах нь зүйтэй.
Чийглэг нь хүний тав тухыг хангахад тийм ч мэдэгдэхүйц биш байж болох ч энэ нь үйлдвэрлэлийн процесст ихээхэн нөлөөлдөг, ялангуяа чийгшил өндөр, чийгшил нь ихэвчлэн хамгийн муу хяналт байдаг тул цэвэр өрөөний температур, чийгшлийг хянахдаа чийгийг илүүд үздэг.
Шуудангийн цаг: 2020 оны 9-р сарын 01-ний өдөр